浏览数量： 69 作者： 本站编辑 发布时间： 2022-11-14 来源： 本站
洁净室发展历程CLEAN ROOM DEVELOPMENT HISTORY
洁净产业发展历程
现代洁净室起源于战争时期的军事工业。20世纪50年代朝鲜战争时期，美国在战争中发现大量电子仪器出现故障，有超过80%的雷达失效，接近50%的水声测位仪失效，陆军中70%的电子设备失效，并且每年的维护费用超出原价的2倍，原因在于零部件可靠性差，质量不稳定。最终，美军找到的主要原因是灰尘在作怪，工厂生产环境不清洁，导致生产出来的零部件合格率低，尽管当时采取非常严密的措施来封闭生产车间，但仍收效甚微，后来将高效空气过滤器应用于生产车间后，才解决此类问题，这也是现代洁净室的诞生。
洁净室产业的发展可分为5个阶段，每个阶段的发展和进步都源于制造业技术升级对生产环境要求的提高。
(1）第 一阶段是20世纪50年代美国军工的需要；
(2）第二阶段是20世纪60年代苏联和美国航天事业，特别是登月工程中精密机器加工和电子仪器的发展，出现了层流技术和百级洁净室；
(3）第三阶段是20世纪70年代集成电路开始进入发展期，使得洁净技术得以腾飞；
(4）第四阶段是20世纪80年代大规模和超大规模集成电路的发展带来对洁净室要求的进一步提高；
(5）第五阶段则是从20世纪90年代开始到现在，半导体技术进一步发展，生产线精度的进一步提高，对生产空间的洁净度提出新的要求，同时，传统领域如医疗制药、精密仪器等、食品工业等对洁净技术的要求也逐步提高。
洁净室标准发展历程
20世纪50年代，在美国由原子能工业带动和精密机械、电子工业的需要而发展了污染控制技术。1957年苏联第 一颗人造卫星发射成功，震惊了美国政府，为其自身加速宇航工业发展的需要，也加速了制订有关污染控制标准的工作。1961~1976年这一段时期里，许多国家也相继制订了洁净室的标准。
其内容特别是洁净度分级基本参照了美国标准。但是，由于滥用联邦标准209B，加之原标准中一些概念不清，以及当前对所谓10级、1级洁净度的需要，促使美国修改209B，这一工作首先由IES（美国环境科学研究院）发起，经GSA（美国总务管理局）认可和授权，成立了RP-50委员会（包括来自政府、微电子公司、仪器制造厂、洁净室顾问、洁净室用户及洁净室测试人员各方），经过4年工作，终于在1987年10月27日颁发了FS209C。但由于主要是印刷上的错误，209C于1988年6月15日被新的FS209D所取代。
在这里值得一提的是，以前作为日本国标（JIS B9920)，虽有关于洁净室中粒子的测定方法，但洁净度级别是完全照搬美国。1988年公开了JIS B 9920的修订案，第 一次提出了日本的洁净度级别，日本空气洁净协会也于同年公布了《洁净室性能评价指南》（草案），使在洁净室方面的法规更具体化了。
1999年国际标准化组织ISO技术委员会TC209“洁净室及相关受控环境”制订的ISO 14644-1《洁净室和相关受控环境第 一部分：根据粒子浓度划分空气洁净度等级》标准是世界各国制订洁净室相关标准的基石，后于2015年进行了修订。后续各国陆续制订了自己国家的洁净室相关标准。
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