2022-01-06 洁净技术的应用洁净技术经历了半个多世纪的发展,其应用范围越来越广泛,技术要求也越来越复杂。目前,它的代表性应用领域为微电子行业、医药卫生及电子工业等。它的应用领域主要有:01.微电子工业02.半导体制造业03.制药工业04.光学工业05.生物技术工业06.纯化学试剂制造业07.微机械加工业08.医院及其他保健机构09.医疗器械与移植装置的生产与包装工业10.食品与饮料工业1.微电子工业微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路(LSI、VLSI)的发展,对微尘控制要求越来越高。集成电路制造工艺中,集成度越大,图形尺寸(以线宽为代表)越细,对洁净室控制粒径的尺寸也要求越小(