洁净产业发展特点 洁净室应用领域 CLEAN ROOM APPLICATIONS现代科技的高速发展和相关产品对精度、可靠性以及纳米级的需求，促使电子、医疗、制药、航空、航天以及食品等行业对室内环境的要求日渐增高，空气洁净技术在这种强烈的市场需求下迅速发展。空气洁净技术应用主要通过洁净室来实现，结合本章第一节有关洁净室的分类来分析洁净行业领域：微电子技术领域向光电技术和微机电技术领域扩展光电技术是继微电子技术之后近年来迅速发展的新兴技术，它集中了固体物理、导波光学、材料科学、微细加工和半导体科学技术的科研成就，是电子技术与光学技术自然结合与扩展的新兴交叉学科，对于国民经济、科技和国防都具有重

过滤效率是空气过滤器最重要的指标，它是指在额定的风量下，过滤器前后空气含尘浓度之差与过滤器前空气含尘浓度之比的百分数。对于洁净空调系统，不同级别的过滤器通常是串联使用的，若有个过滤器串联使用，则其总效率:穿透率与过滤效率过滤效率是衡量空气过滤器捕集尘粒能力的参数，也可以用穿透率来评价过滤器的好坏，穿透率是指过滤后空气的含尘浓度与过滤前空气的含尘浓度之比的百分数，可用上式表示采用穿透率可以明确表示过滤器前后的空气含尘量，用它来评价比较高效过滤器的性能较直观。

“空气洁净”可以从两个关联的方面来理解:一是空气净化,表示空气洁净的“行为”;二是指干净空气所处的清净“状态”。空气洁净的目的是使受到污染的空气被净化到生产、生活所需的状态,或达到某种洁净度。空气洁净度是指洁净对象————空气的清洁程度。洁净度通常用一定体积或一定质量空气中所含污染物质的粒径、数量或质量来表示。例如,每立方米空气中,含有大于或等于0.5微米的悬浮微粒有x个,即洁净度≥0.5um,颗粒为xpc/m³。又如,每立方米空气中尘粒的质量为Ymg,其洁净度用ymg/m³表示。空气净化是采用某种手段、方法和设备使被污染的空气变成洁净的空气。由于空气净化的目的与对象不同,净化的内容、方法和衡

洁净技术的应用洁净技术经历了半个多世纪的发展，其应用范围越来越广泛，技术要求也越来越复杂。目前，它的代表性应用领域为微电子行业、医药卫生及电子工业等。它的应用领域主要有：01.微电子工业02.半导体制造业03.制药工业04.光学工业05.生物技术工业06.纯化学试剂制造业07.微机械加工业08.医院及其他保健机构09.医疗器械与移植装置的生产与包装工业10.食品与饮料工业1.微电子工业微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路（LSI、VLSI）的发展，对微尘控制要求越来越高。集成电路制造工艺中，集成度越大，图形尺寸（以线宽为代表）越细，对洁净室控制粒径的尺寸也要求越小（

空气调节就是使房间或封闭空间的温度，相对湿度，洁净度，和气流速度等参数均达到给定要求的技术。也就是说，在人们的生活和工作以及生产和科研的某一个特定的空间内其环境空气的温度，湿度，洁净度，和气流速度等构成了该空间的空气环境。采取必要的技术手段来创造和保持该空间内要求的空气环境就是空气调节的任务。在空气调节系统中，空气处理设备即空调器是实现空气热，湿交换和空气过滤净化的核心部分。一个房间或一个空间，在一般情况下除了有来自该房间内部的围护结构，人员，照明灯具及设备产生的热，湿，粒子，微生物或其他有害物的干扰外，同时还有来自房间外部的大气，太阳辐射等的干扰。为了消除上述来自室内外的干扰，就