2023-03-31 洁净室应用领域CLEAN ROOM APPLICATIONS现代科技的高速发展和相关产品对精度、可靠性以及纳米级的需求,促使电子、医疗、制药、航空、航天以及食品等行业对室内环境的要求日渐增高,空气洁净技术在这种强烈的市场需求下迅速发展。空气洁净技术应用主要通过洁净室来实现,结合本章第一节有关洁净室的分类来分析洁净行业领域: 微电子技术领域向光电技术和微机电技术领域扩展 光电技术是继微电子技术之后近年来迅速发展的新兴技术,它集中了固体物理、导波光学、材料科学、微细加工和半导体科学技术的科研成就,是电子技术与光学技术自然结合与扩展的新兴交叉学科,对于国民经济、科技和国防都具有重要的战略意义