2021-11-26 1963年,美国出了个洁净室联邦标准Fed Std 209。在209标准中,洁净室按环境中每立方英尺空间≥0.5mm的粉尘数量限度分成若干级别,如100级、10,000级、100,000级。中国过去的洁净室标准也是按这种方法分级的。1999年,国际标准化组织ISO颁布了洁净室国际标准ISO14644-1《洁净室与受控洁净环境,第一部分:空气洁净度分级》。1999年,国际标准化组织ISO颁布了洁净室国际标准ISO14644-1《洁净室与受控洁净环境,第一部分:空气洁净度分级》。ISO规定的洁净度等级以及传统分级的具体数值见下表。