如今，半导体工业（芯片厂）对生产环境的空气洁净度要求是最为严格的，对过滤器的要求也比较苛刻。因为粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。“线宽”是衡量芯片集成度的指标之一，即电路上导线的宽度。在以微米计算线宽的年代，人们说制造环境对粉尘粒径的限制是小于线宽的十分之一，随着线宽不断变小，1/10之说又变成了1/4、1/2。2002年，普通微机中P4处理器的线宽缩小到了0.13μm，此时任何粉尘都可能损害电路。芯片厂传统的通风形式是“大循环”，车间的整个顶棚上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在很多芯片厂使用自带风机的过滤装置，即FFU。 空气中的海盐粒子是所有电子工

空气过滤器测试计重法，主要用于测量累积过滤的尘源重量：试验尘源为大粒径、高浓度标准粉尘。将过滤器装在标准实验风洞内，上风端连续发尘。每隔一段时间，测量穿过过滤器的粉尘重量或过滤器上的集尘量，由此得到过滤器在该阶段按粉尘重量计算的过滤效率。当达到约定的终阻力值，或效率明显下降时，终止试验。此时过滤器容纳试验粉尘的重量成为“容尘量”。蕞终的计重效率是各试验阶段效率依据发尘量的加权平均值。这里的“约定”是指客户与试验者间的约定，或试验者自己的规定。所以，约定终止试验的条件不同，计重效率值就不同。计重法主要用于测量低效率过滤器，如初效过滤器、中效过滤器，一般用于中 央空调系统中的预过滤。DOP法属于高

空气过滤原理粉尘与过滤介质的粘接力：空气中的尘埃粒子，或随气流做惯性运动，或做无规则运动，或受某种场力的作用而移动，当运动中的粒子撞到障碍物，粒子与障碍物之间的范德瓦尔斯力使他们粘在一起。过滤介质材料：既能有效地拦截尘埃粒子，又不对气流形成过大的阻力。杂乱交织的纤维形成对粒子的无数道屏障，纤维间宽阔的空间允许气流顺利通过。 目前广泛使用的材料有玻璃纤维、聚丙烯纤维、聚酯合成纤维、熔喷无纺布等。根据与粉尘撞击过滤介质的运动规律来解释，常见的过滤机理分为惯性原理、扩散原理、静电原理。大颗粒粉尘在气流中作惯性运动。气流遇障绕行，粉尘因惯性偏离气流方向并撞到障碍物上。粒子越大，惯性力越强，

空气过滤器主要用于进气净化，用于除去其中的尘埃粒子。此外，某些生产过程的排气中含有细小的污染物质(如放射性物质、油雾等)这类净化虽然属于排气净化，由于它净化要求高，也需采用空气过滤器。 空气过滤器(Air Filter)是指空气过滤装置，一般用于洁净车间，洁净厂房，实验室及洁净室，或者用于电子机械通信设备等的防尘。分为初效过滤器，中效过滤器，亚高效过滤器及高效过滤器等型号。各种型号有不同的标准和使用效能。以下为常用规格对照表（以下部分内容来源于网络，仅供分享学习交流使用，版权归原作者）。初中高效过滤器效率规格对照表

一、洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效过滤器三级过滤。对于净化级别要求不高的场所，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器。二、空气过滤器的选用、布置方式一般按以下方式布置： ⑴ 中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段； ⑵ 高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端； ⑶ 中效、高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用。三、对面积较大、空气洁净度较高、位置集中及消声、振动控制要求严格的洁净室(区)宜采用集中式净化空调系统。反之，则可采用分散式净化空调系统。 四、下列情况的空气净化系统宜分开设置： ⑴ 单向流洁