2022-12-30 洁净产业发展特点 洁净室应用领域 CLEAN ROOM APPLICATIONS现代科技的高速发展和相关产品对精度、可靠性以及纳米级的需求,促使电子、医疗、制药、航空、航天以及食品等行业对室内环境的要求日渐增高,空气洁净技术在这种强烈的市场需求下迅速发展。空气洁净技术应用主要通过洁净室来实现,结合本章第一节有关洁净室的分类来分析洁净行业领域:微电子技术领域向光电技术和微机电技术领域扩展光电技术是继微电子技术之后近年来迅速发展的新兴技术,它集中了固体物理、导波光学、材料科学、微细加工和半导体科学技术的科研成就,是电子技术与光学技术自然结合与扩展的新兴交叉学科,对于国民经济、科技和国防都具有重